El WF6 s'utilitza principalment com a matèria primera per al procés de deposició química de vapor (CVD) de tungstè metàl·lic a la indústria electrònica. El WSi2 fet de WF6 es pot utilitzar com a material de cablejat en circuits integrats a gran escala (LSI), i també es pot utilitzar com a matèria primera per a elèctrodes semiconductors, matèries primeres de fluor per a agents químics, catalitzadors de polimerització, materials òptics, etc.